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sena 目視檢查高強(qiáng)度照明器介紹
SENA Superbeam 是一種用于晶圓、透鏡和玻璃基板表面檢測(cè)的照明設(shè)備，匯集了 30 多年的專業(yè)知識(shí)。 通過(guò)采用的透鏡和專用燈，使照射區(qū)域的照度保持均勻，可以獲得強(qiáng)而穩(wěn)定的光線。
在半導(dǎo)體前端制造過(guò)程中，化學(xué)和機(jī)械力結(jié)合作用使表面平滑的CMP（化學(xué)機(jī)械平面化）工藝有時(shí)會(huì)導(dǎo)致諸如裂紋和劃痕缺陷之類的表面損壞。為了有效地解決這一風(fēng)險(xiǎn)，需要對(duì)表面純度和平面度進(jìn)行非破壞性，非接觸式，波長(zhǎng)敏感的視覺(jué)檢查。研華提供的機(jī)器視覺(jué)整體解決方案涵蓋工業(yè)級(jí)圖像傳感器，高級(jí)計(jì)算，多核處理器和VisionNavi應(yīng)用軟件，這是一種基于用戶友好的基于流程圖的界面，可以簡(jiǎn)化開(kāi)發(fā)和部署，分支和循環(huán)功能，先進(jìn)的視覺(jué)應(yīng)用程序，并通過(guò)全局快門支持多種任務(wù)和攝像機(jī)，以提供精確而高效的半導(dǎo)體生產(chǎn)。
用途
晶圓表面質(zhì)量檢查
液晶濾光片和彩色濾光片檢查
玻璃鏡片表面劃痕和異物檢查
硅玻璃表面劃痕和異物檢查
光掩膜表面劃痕和異物檢查
膠片表面劃痕和異物檢查
陶瓷表面檢查
金屬表面（鋁、不銹鋼、銅等）
觸摸屏表面檢查
汽車油漆質(zhì)量
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