日本ace半導體自動調(diào)節(jié)壓力控制器

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更新日期：2025-05-02

簡要描述：

日本ace半導體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M
AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導體制造過程中使用的氣體，通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。

測量范圍	1MPa

日本ace半導體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

半導體自動調(diào)節(jié)器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備

AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導體制造過程中使用的氣體，通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。

控制壓力約為650kPa，控制流速為100kPa壓差，有兩種接觸類型，即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調(diào)制來控制比例電磁閥，AP160M模型可以提高響應度并消除滯后現(xiàn)象，因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達到設(shè)定壓力。

壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品，氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成，并且與惰性氣體，腐蝕性氣體，危險氣體等所有氣體兼容。除了半導體工藝氣體以外，也是可能的。

日本ace半導體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

規(guī)格

模型	AP160M
主要用途	對于半導體
目標氣體	半導體工藝氣體就座氣體
入口壓力	500kPa以下
耐壓	小于1000kPa
壓力設(shè)定	需要計算機等輸入的壓力設(shè)定值
控制方式	比例電磁紙漿批發(fā)
控制壓力	0-500kPa
流量	當壓差為100 kPa時，有兩種類型，即500 cc / min和3000 cc / min。
響應時間	1秒鐘達到設(shè)定值
輸入信號	0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉
輸入信號	R485
外部傳感器輸入	（4 ?? 20A可能）
輸出信號	報警輸出RS485.0-5VDC
管件	1/4〃VCR等效
閥座泄漏	10-6Pa ? m3 /秒以下
準確性	±5kPa（在800kPaFS時）
電源電壓	24VDC±10％
目前的消費	200mA以下
工作溫度	0-50℃無凝結(jié)
面之間的外部尺寸	寬36×深46×高60mm
壓力傳感器	是（內(nèi)置）
顯示設(shè)定裝置	沒有裝備

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