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      日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K 實(shí)驗(yàn)室冷水機(jī)
      
            
      
              
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      更新日期：2024-03-24
      
              
      簡要描述：
      
              
      日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K
      用于等離子刻蝕和其他半導(dǎo)體應(yīng)用的高容量熱電冷水機(jī)組
      
            
      
          
      
          
      
            
      日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K 實(shí)驗(yàn)室冷水機(jī)
      
            
      
              
      
                
        
                  
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      品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
      冷卻方式水冷式儀器種類分體式
      
                            
                              
                    
      
                
      日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K
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      • 我們專為半導(dǎo)體加工而設(shè)計(jì)的最高容量冷水機(jī)組
      • 3，000 或 5，000 瓦的冷卻能力
      • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性
      • 兩種泵選項(xiàng)，流量高達(dá) 10 gpm，壓力高達(dá) 100+ psig
      • 減少晶圓間的變化，消除晶圓效應(yīng)
      • 比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%
      • 采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護(hù)成本低
      • 模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)
      • 消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
      • 使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
      • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
      • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
      • 等離子蝕刻、等離子灰分、計(jì)量、CMP 和其他工藝的解決方案
      規(guī)格
      工作范圍：
      -10°C 至 80°C
      環(huán)境溫度：
      10°C 至 40°C 無冷凝
      穩(wěn)定性/可重復(fù)性：
      恒定負(fù)載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時(shí)）
      制冷量*：
      尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 設(shè)施用水） 尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 設(shè)施用水）
      冷卻液/工藝流體：
      針對(duì)氟惰性/高登或HFE流體進(jìn)行設(shè)置
      提供可選的乙二醇/水配置
      工藝流體接頭：
      3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
      泵：
      磁耦合渦輪機(jī)（高功率或高功率）
      流量：
      高達(dá) 10 加侖/分鐘（38 升/分鐘），流量和
      壓力可調(diào)（10 至 100 psig）
      油箱容積：
      10 升（2.6 加侖），帶 2 個(gè)液位傳感器
      設(shè)施用水：
      25 升/分鐘（6 加侖/分鐘）@ 7-25°C 過濾，處理過的循環(huán)設(shè)施冷卻水，pH 6.5 至 8.2
      設(shè)施水配件：
      3/4“ 世偉洛克（316 不銹鋼）
      N2/CDA（必需）：
      500 sccm -30°C 露點(diǎn)或更低的 CDA 或 N2，
      30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作
      接液材料：
      工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設(shè)施
      ：密封硬質(zhì)陽極氧化鋁
      和不銹鋼
      尺寸（寬 x 深 x 高）：
      22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）
      重量：
      ~300 磅（136 千克）干
      電源輸入：
      200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A
      斷路器：
      20/30 安培 480 VAC 3 極，帶 GFCI
      遠(yuǎn)程EMO：
      外部干接點(diǎn)
      通信：
      泛林， 應(yīng)用材料公司， RS232， 其他
      警報(bào)：
      溫度、液位、系統(tǒng)或組件
      故障（顯示、干接點(diǎn)和機(jī)器接口）
      標(biāo)準(zhǔn)：
      半 S2-0200，符合 F47 標(biāo)準(zhǔn)，CE
      保證：
      2 年


      
              
      



      

      
	
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